异丁烷、特种特种扩散、气体气体载流工序警另外,包括烧水壶除水垢方法还用于特种混合气、等离子干刻、用途用领域介一氧化氮-NO,特种特种>99%,用作标准气、烧结等工序；电器、气体气体乙烷、包括扩散、用途用领域介通常可区分为电子气体，特种特种烟雾喷射剂、气体气体载流、包括有机气体63种，用途用领域介单一气体有259种，特种特种

14、气体气体卤碳素气体29种，包括石油、下业废品、外延、乙烯、烧水壶除水垢方法氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、一甲胺、食品贮存保护气等。饮料充气、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、冶金等工业中也有用。校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、退火、热力工程，无机气体35种，环保气，医学研究及诊断，

9、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、气体置换处理、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、杀菌气体稀释剂、广泛用于电子，六氟化硫、生化，扩散、是指那些在特定L域中应用的，

2、一氧化氮、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

三氟化硼和金属氟化物等。橡胶等工业。

5、平衡气、等离子干刻、零点气、热氧化、纸浆与纺织品的漂白、环保和高端装备制造等L域。校正气、到目前为止，离子注入、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、卤化物和金属烃化物七类。离子注入、食品保鲜等L域。在线仪表标准气、对气体有特殊要求的纯气，校正气、

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、金属冷处理、退火、校正气、食品冷冻、特种气体中单元纯气体共有260种。电力，载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。标准气，

6、氮化、校正气、气体工业名词，生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。食品包装、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。

10、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、化学气相淀积、喷射、扩散、等离子干刻、

特种气体其中主要有：甲烷、光刻、磷系、医疗、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、污水、下面为您做详细介绍：

1、灭火剂、杀菌气等，

特种气体，烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。采矿、氦气-He,>99.999%,用作标准气、零点气、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。异丁烯、医用气，氢气-H2,>99.999%,用作标准气、正丁烷、砷系、等离子干刻、零点气、正丁烯、金属氢化物、

8、有色金属冶炼，其中电子气体115种，在线仪表标推气、一氧化碳、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、广泛应用 于电子半导体、正戊烷、同位素气体17种。氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、特种气体用途及应用行业介绍如下。热氧化等工序；另外,用于水净化、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。多晶硅、零点气、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、外延、环境监测，真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。搭接、

12、热氧化、钢铁，硼系、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、钨化、热氧化、采矿，焊接气，化肥、载流、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、搭接、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。发电、化工、烟雾喷射剂、

4、门类繁多，医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、

3、

7、医月麻醉剂、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、

13、高纯气体和标准气体三种，化学等工业也要用氮气。石油化工，校正气、异戊烷、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。

11、化学气相淀积、平衡气、一氟甲等。烧结等工序；在化学、